Q1 and Related Materials

작년 여름에 졸업한 학생이 쓰던 sputtering 챔버가 하나 있는데, 안 쓰고 그러길래 새 장비 만들면서 내가 펌프와 칠러를 떼갔다. 뭐 물론 그 전에, 내 실험하는데 내 쪽에 pulsed DC power supply만 있어서 AC power supply 떼가서 실험하고 내 장비 옆에 방치 해 놓았기도 했다. 얘도 반환 조만간 해야지.

하튼, 그 장비 살려서 전극 증착용으로 쓰겠다고 새로 학생이 그 장비에 손을 댔다. 근데 fab. 공정을 주로 했지 박막 증착은 안 해서 챔버는 처음 만지는 건데... 펌프 연결을 나 병가 기간에 했나, GRE 보러 간 휴가 기간에 했나, 하튼 나 없는 동안 해버렸고.

진공이 안 잡힌다고 문제를 못 풀고 있었나 보다.

이제 그 동안 진행했던 플젝도 마무리 되고 해서 여유가 생겨서 정증현 박사님이랑 같이 문제점을 찾더라. 정박사님이 박박사님한테 help 치고. 펌프가 문제인지, 진공 게이지가 문제인지, 챔버 leakage가 문제인지를 몰라 펌프 바꿔 보고, 게이지 바꿔보고 하시나 보다 하고 있었는데...

결국 바로 옆의 내 게이지 리더를 쓰겠다고 해서 내꺼에서 케이블 뽑아 가야 되니깐 가서 케이블 꽂아주고 봤다. 게이지는 정상.

증상을 보니 진공이 수십토르까지 밖에 안 빠지고, 그 정도 릭이면 펌핑 밸브 닫으면 압력이 치솟아야 되는데, 압력은 유지되고. 난 당연히 그러면 밸브와 펌프 사이 문제니 벨로우즈를 바꿔 본 다든지 밸브를 점검해 보라고 하면서 밸브를 살펴보는데...

문제를 찾았다-_-

Rotary pump는 펌프 내부의 oil 역류를 막기 위해 보통 전원이 나가면 자동 venting 되도록 솔레노이드 밸브(속칭 솔밸브)를 단다. 물론 일반적인 솔밸브는 전원이 인가 되면 열리고, 꺼지면 닫히지만, 이건 반대 type이라 전원이 끊어지면, 열려서 외부 공기 유입시켜 venting하여 상압으로 맞춰주는 역할을 한다. 물론, 전원이 들어오면 닫혀서 외부 공기 유입 되지 말아야겠지?

그런데 그거 전원이 안 연결 되고 그냥 바닥에 널부러져 있네 ㅋㅋㅋ

난 문제점 찾아줬으니.. 라고 생각했지만, 그 쪽은 펌프 연결할 때 왜 안 알려줬어... 이러는 분위기.. 쩝;;;

Rotray pump 달린 진공장비 써 본 사람은 다 아는 사실인데.. 모두 당연히 연결 되었을꺼라고 생각하고 아무도 안 쳐다본... 뭐 학생이 챔버를 이제 처음 만져보니깐...